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天津市中环实验电炉有限公司--二十年的专注;新材料烧结专家长期生产实验电炉有管式炉马弗炉石墨烯管式炉PECVD系统 等实验室设备PECVD系统在辉光放电条件下,由于硅烷等离子体中的电子具有几个ev 以上的能量,因此H2和SiH4受电子的碰撞会发生分解,此类利用PECVD系统反应属于初级反应若不考虑射频分解时的中间激发态,可以得到如下一些生成SiHm(m=0,1,2,3)与原子H 的离解反应:
按照基态分子的标准生产热计算,上述各离解过程(2.1)~(2.5)所需的能量依次为2.14.14.45.9eV 和4.5eV
在产学研结合发展的过程中我们欢迎有志之士的加入
天津市中环实验电炉有限公司,网址WWW.CTJZH.COM;电话400-022-1116 http://www.ctjzh.com/news/2015/0312/558.html 旋转管式炉

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